die Mi̱·k·ro·sy·s·tem·tech·nik
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In der Mikrosystemtechnik wird es zum selektiven anisotropen Ätzen von einkristallinem Silicium eingesetzt.
de.wikipedia.org Die Aktoren werden beispielsweise aus Formgedächtnislegierungen gefertigt, die vorteilhafte Leistungsdichten aufweisen, die vor allem im Mikrosystemtechnik Bereich genutzt werden können.
de.wikipedia.org Die Bezeichnung wird jedoch auch in der Mikrosystemtechnik verwendet.
de.wikipedia.org Für kleinere Flussraten, bis hinunter in den Bereich von Nanolitern pro Minute, werden auf Mikrosystemtechnik basierende Sensoren eingesetzt.
de.wikipedia.org Von smarten Hydrogelen werden beträchtliche Impulse für die chemische Sensorik, Mikrosystemtechnik und Mikrofluidik, Regelungstechnik sowie Medizintechnik erwartet.
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