Eine feste Keramikbeschichtung minimiert die Hafteigenschaften der Wafer und verbessert die Lebensdauer der elektrostatischen und Vakuum-Chucks.
Eine intelligente elektrische Ansteuerung optimiert die Chucking- und De-chucking-Leistungsfähigkeit durch die Minimierung von spezifischen Polarisierungseffekten.
Die Materialien werden entsprechend ihres Anwendungsgebietes ausgewählt und im Hinblick auf Temperaturanforderungen, die Strahlungsart und weitere kritische physikalische Aspekte konstruiert.
www.ivam.deHard ceramic coatings minimize adhesion effects of wafers and improve the life time of electrostatic and vacuum chucks.
Intelligent electrical controlling drives the chucking and de-chucking response to an optimum by minimizing material specific polarization effects.
Materials are chosen according to their field of application and are designed with regard to temperature requirements, type of radiation and other critical physical aspects.
www.ivam.deDie Materialien werden entsprechend ihres Anwendungsgebietes ausgewählt und im Hinblick auf Temperaturanforderungen, die Strahlungsart und weitere kritische physikalische Aspekte konstruiert.
Aufgrund der variierenden Eigenschaften dieser Materialien wird die Chucking-Leistung wie Haltekraft und Homogenität mit Hilfe eines speziellen Interferometers gemessen.
Die Fähigkeit, die wirksame Haltekraft durch spezielle Parameter des Materials zu verändern, kombiniert mit einer hoch-effektiven, dreidimensionalen FE- Analyse des elektrostatischen Chucks, ermöglicht die kontinuierliche Entwicklung von neuen fortschrittlichen elektrostatischen Chucks.
www.ivam.deMaterials are chosen according to their field of application and are designed with regard to temperature requirements, type of radiation and other critical physical aspects.
Due to the varying properties of these different materials the chucking performance like clamping pressure and homogeneity is measured and analyzed with a special setup using interferometry.
The capability for modeling the effective clamping pressure based on specific material parameters in combination with a highly effective three-dimensional FE analysis of the electrostatic chuck enables the constant development of new advanced electrostatic chucks.
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