Die Arbeit mit dem extremen UV bringt neue Herausforderungen, denn :
„ EUV-Licht ist so kurzwellig, dass es bereits von der Luft komplett absorbiert wird.
Die Belichtungder Wafer muss deshalb im Hochvakuum erfolgen ”, erklärt Produktentwickler Jürgen Meinl, SCHOTT Lighting & Imaging, der für ASML mit Kollegen bereits an den Vorgängersystemenarbeitete.
www.schott.comWorking at these wavelengths poses new and difficult challenges :
” EUV light is very shortwave.It is easily absorbed, even by air.
So the wafer ’ s exposure has to be done in a high vacuum environment, ” explains Jürgen Meinl, developer at SCHOTT Lighting & Imaging, who has already helped in the development of ASML ’ s previous machine models with his colleagues.
www.schott.comHeutige Mikroprozessoren haben über eine Milliarde Transistoren.
Damit die winzigen Bauteile auf engstem Raum unterkommen, muss das Licht bei deren Fertigung schon jetzt besonders kurzwellig sein.
www.schott.comToday ’ s microprocessors have over one billion transistors.
Even now, very short-waved light is needed to fit all of the tiny components onto a very confined space.
www.schott.comMit beiden Arten zusammen können wir verschiedenste Farben sehen.
Zu den Zäpfchen ist noch zu sagen dass es 3 Arten gibt mit jeweils anderer spektraler Empfindlichkeit ( kurzwellig, mittlerer und langwelliger Bereich ).
Kombiniert können damit sehr viele Farben wahrgenommen werden.
www.designguide.atThe combination of both types of cells allows us to see a wide variety of colours.
There are 3 subtypes of cones that have a different spectral sensitivity ( short, middle and long wave fields ).
These three types combined make it possible for us to see lots of colours and shades.
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